2011年3月3日，國家科技重大專項《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》“十一五”成果發(fā)布暨采購簽約儀式在北京飯店隆重舉行。全國政協(xié)副主席、國家科技部部長萬鋼出席會議并作重要講話。會議由專項第一行政責任人上海市副市長沈曉明主持，專項第一行政責任人北京市副市長茍仲文介紹專項“十一五”主要成果及“十二五”組織實施措施。出席會議的還有北京市委常委趙鳳桐、中國半導體行業(yè)協(xié)會理事長江上舟、02專項總體專家組組長葉甜春、工信部電子信息司副司長丁文武及科技部、工信部、財政部、海關總署、稅務總局等部局領導。公司董事長王福祥、副董事長兼總工程師孫江燕、第一副總經理呂海波應邀參加了會議。
會上中芯國際與大唐微電子等集成電路設計企業(yè)、與中微半導體等集成電路裝備、材料企業(yè)簽訂采購合作協(xié)議；長電科技與上海新陽半導體等集成電路裝備企業(yè)簽訂采購合作協(xié)議；通富微電公司與銅陵三佳科技等企業(yè)簽署合作協(xié)議。上海新陽獲得了長電科技與通富微電公司的“高速自動電鍍線”設備采購合作協(xié)議，與中芯國際就“銅互連電鍍液”簽署了采購合作意向書。
《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》國家科技重大專項是我國《國家中長期科學和技術發(fā)展規(guī)劃綱要》16個科技重大專項中的02專項，該專項旨在開發(fā)極大規(guī)模集成電路關鍵制造裝備，掌握具有自主知識產權的成套先進工藝及相關新材料技術，打破我國高端集成電路制造裝備與工藝完全依賴進口的現(xiàn)狀，帶動相關產業(yè)的技術提升和結構調整。 據(jù)統(tǒng)計，“十一五”期間，國家為該專項投入資金超過80億元，已啟動58項，其中裝備整機15項，成套工藝11項，關鍵技術與零部件12項，關鍵材料13項，前瞻性研究7項。全國有18個省、29個市的133家單位參與。目前，“02專項”累計申請專利4200多件，獲得一系列技術和產業(yè)化突破；在制造環(huán)節(jié)，有35種裝備、材料陸續(xù)進入或已經通過大生產線驗證；而在封裝環(huán)節(jié)，23種裝備和8種材料已通過大生產驗證。此次會議的召開標志著02科技重大專項取得了重要的階段性成果，項目承擔單位所開發(fā)的設備與材料實現(xiàn)了產業(yè)化，這對于我國實施極大規(guī)模集成電路制造關鍵設備、材料國產化及各個設備材料供應商來講都具有重要的里程碑式的意義。
上海新陽的“高速自動電鍍線”從2009年1月份立項，歷時兩年，在重大專項辦和政府相關部門的指導和支持下已經順利完成，得到項目組和長電科技、通富微電的一致認可，目前已經在使用單位投入大規(guī)模生產。在3月2日中國半導體市場年會上，該項目被中國半導體行業(yè)協(xié)會、中國電子材料行業(yè)協(xié)會、中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會、中國電子報社評為“第五屆(2010年度)中國半導體創(chuàng)新產品和技術”。此次國家牽頭組織的“成果發(fā)布暨采購簽約儀式”對新陽具有里程碑式的意義，專項的實施提升了上海新陽科技攻關水平、綜合管理能力，增強了“新陽人”的自豪感，極大地推動了“新陽”品牌建設，擴大了公司在國內國外市場的影響力和知名度。
萬鋼部長指出：“集成電路產業(yè)是戰(zhàn)略性、基礎性、先導性支柱產業(yè)，是掌握著國民經濟發(fā)展和全球信息化競爭的主導型的關鍵產業(yè)，是當今信息時代國家綜合實力和國家競爭力的重要標志。培育和發(fā)展具有綜合實力和核心競爭力的集成電路制造業(yè)是發(fā)展集成電路產業(yè)的關鍵，也是實施02科技重大專項最重要的使命。近年來，我國集成電路每年的進口額都超過1200億美元，比石油進口額還要多，是我國最大宗的進口物資?！笨梢?，我國集成電路產業(yè)的整體技術水平和綜合實力與國外先進國家與地區(qū)相比還有很大差距，我們還有很大的發(fā)展空間，尤其是在高端裝備制造、工藝和材料方面的發(fā)展空間還很大。
上海新陽作為我國集成電路設備、材料領域的“國家隊”成員，將努力專注于集成電路產業(yè)高端材料、設備的研發(fā)和產業(yè)化，開拓更廣闊的市場，滿足客戶更多需求，新陽的發(fā)展前途不可限量，她正如一輪紅日冉冉升起，寄托著希望，推動產業(yè)發(fā)展走向遠方。
